EBARA  EV-SA系列真空干泵

EBARA  EV-SA系列真空干泵

是无需冷却水的小型空冷干式真空泵。尽管属于安装自由度高的小型设计，最大排气速度达到5000L/min，具有节能、低噪的优点，除了用于生产工厂以外，还可用于实验室和研究室等各种不同环境，也是是各种分析仪器和电子显微镜等洁净排气用途的优质选择。

技术特点：

l                      小型、轻量、占地面积小

l                      风冷

l                      节能

l                      低噪音

l                      双螺杆结构

l                      无需维护

l                      认证标准： CE、SEMI-S2/NRTL

典型应用：

l                      科研实验室

l                      PVD真空镀膜

l                      质谱仪

l                      等离子清洗

l                      半导体、光伏制程

技术参数：

尺寸图：