ULVAC/日本爱发科 品牌
经销商厂商性质
长沙市所在地
ULVAC爱发科传感器型复合电离真空计
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
更强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～5×10-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件。
用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式
高真空・超高真空设备的压力测量
型号：SH200-A、SH200-R、HT200-E
| 型号 | SH200-A | SH200-R | HT200-E （即将上市） | |
| 规格 | 标准规格 | 串口通信规格 | EtherCAT规格 | |
| 适应多离子传感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| 可以连接的传感器 | 多离子传感器：1本 皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选） 大其他传感器SAU：1本（可选） | |||
| 测量精度（N2） | SH200本体模式：±2％ | |||
| 取样时间 | 60ms 5回 移動平均処理 | |||
| 測定値出力 | 出力电压 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新时间 | 60msec | |||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑 * FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异 | - | - | |
| 制御出力信号 | 传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - | |
| 串行通信规格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED显示 | POWER/ERROR： 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化) | |||
| 发射电流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) | |||
| DEGAS | 电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V | |||
| 测量部耐圧性 | 2×10+5Pa （绝对压力） * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性 | |||
| 传感器内部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
| 使用温度范围 | 10～50℃ | |||
| 使用湿度范围 | 15～80%(不结露) | |||
| 保管温度 | -20～65℃(非通电时、不结露) | |||
| IP保护等級 | IP30 | |||
| 电源电压 | DC20～28V (波纹，噪音1%以下) 8W以下 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub15销（M2.6螺丝） | |||
| 重量 | 调节器：约280g 测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g | |||
| 外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
| 适合规格 | CE | |||
| 选项 | 多离子传感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材质：灯丝1,2 -Ir/Y2O3壳 其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niﾒｯｷ | ||
| 皮拉尼真空计传感器 | SWU10-R ※也支持传统的SPU产品。 | |||
| 皮拉尼真空计 | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材质：灯丝－Pt, 其他－BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接 | |||
| 大气压传感器 | SAU(NW16) 材质：SUS316L | |||
| 单位电缆 | GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m | |||
| 显示单元 | 1CH：ISG1 (DC24V电源使用) | |||
| 显示单元电缆 | SH200～显示单元电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m | |||
| 连接器 | 入出力连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝）） | |||
| 其他 | 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書 | |||
