日本ORC欧阿希紫外线光量计

SN型号已被长期使用我们的光刻设备和辐照设备的客户广泛采用，并确保了工艺管理的连续性。 SD型推荐给已经在半导体和液晶基板制造过程中使用其他公司生产的测光表的客户，以及担心确保与这些测量仪器的数据兼容性的客户（SD型也用于我们光刻设备中的投影光刻设备和液晶基板的外围光刻设备），以及使用全新测光表的客户。

为了保证旧过程数据的兼容性，采用SN型作为SD型的指示值（在相同的测量条件下测量我们测量组中用作校准辐射源的高压紫外灯的365nm发射线时指示的照度值）： mW/cm2）。

与可见光的测光表和测光表（以LUX单位测量家庭，办公室，商店，博物馆等亮度的测光表和测光表）不同，适用于所有测光表和紫外线测光表的标准尚未建立（似乎正在为少数有限的应用进行JIS转换工作）。 即使每家公司的相对光谱灵敏度是为了测量主要由365 nm发射线组成的光源的照度，从测量的峰值波长（相对光谱灵敏度特征用1表示的波长）开始，短波长侧（约300 nm~310 nm）和长波长侧（约380 nm~400 nm）上升， 下降的波长和前后的曲线略有不同。 此外，在设计方面也做出了努力，使光感受器的感光角特性（称为COSθ特性）更接近理想曲线，但现实情况是它们尚未实现。

	接收器（可互换）	UV-SD35（UV-SN35）
	测量波长范围	310~385纳米
	测量光范围	0.01~999.9mJ/cm2
	测量照度范围	带开关的开关 范围1：0.01~10.00mW/cm2 范围2：0.1~50.0mW/cm2
	输入/输出信号 （D-sub 连接器）	输入 （1） 远程启动 （2） 远程停止 继电器触点输出 （1） N。 O.（启动时打开） （2） N. C. （3） 警报
	对准精度	在紫外线标准的 ±2% 以内
	重复性	±2%以内

日本ORC欧阿希紫外线光量计

中崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM脉冲、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。