CKD喜开理   流量传感器・控制器

这是一款用于压缩空气和氮气的超小型流量传感器。

由于其重量轻和响应速度快，因此非常适合检查电子元件的吸附情况。

工业：半导体制造工艺（后端工艺）

流量传感器和控制器

CKD喜开理   流量传感器・控制器

用于气体 Rapi Flow® 的微型流量传感器

[超小型轻量] （FSM-X系列） 通过分离传感器头实现超小型化
。
与常规体积相比，它比常规体积小 52%，而且重量轻，4G 最薄，为 8 毫米。
有两种类型的产品阵容：单个传感器头和流路块。

[非线性特性] （FSM-X系列）模拟
输出是非线性的，因此在低流量范围内的分辨率得到了提高。

[双面测量] （FSM-V / FSM-X 系列） 由于
可以进行双向测量，因此非常适合吸附确认应用。

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主要合作客户

关西涂料(ALESCO)、欧菲科技(0-film)、泰晶科技(TKD)、中芯国际(SMIC),京东方(BOE),华星光电(CSOT),天马(TIANMA),柔宇(ROYOLE)

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