◆ 光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大

◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响

◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能

◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强
◆ 精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品

◆ 超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位

◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%

◆ 技术参数 Technical Parameters

◆ 应用案例 Application Case

GaN衬底/扫描范围3µm×3µm                   单晶硅金字塔/扫描范围30µm×30µm          

微米光栅/扫描范围30µm×30µm                    MoTe/扫描范围16µm×16µm