轮廓/膜厚测量

原子力显微镜 椭偏仪 反射膜厚仪 光学轮廓仪 探针式轮廓仪

材料力学测试

超低温力学测试系统 力--电联测试验机 材料试验机 微纳拉伸试验机 纳米压痕仪

材料电学测试

微型真空探针台 铁电分析仪 介电温谱测量系统 高压极化装置 高温电阻测量系统 薄膜电阻测试仪

电化学测试

旋转环盘电极 石英晶体微天平 微区扫描电化学工作站 电化学工作站

热分析测试

导热仪（LFA/HFM/GHP） 动态热机械分析仪（DMA） 热机械分析仪（TMA） 同步热分析仪（STA） 热重分析仪（TGA） 差式扫描量热仪（DSC）

显微分析测试

台式扫描电镜 超景深3D视频显微镜 金相显微镜 体式显微镜

色谱/质谱/光谱

拉曼光谱仪 荧光光谱仪 UV-VIS-NIR光谱 红外光谱仪 气相色谱质谱联用仪 气相色谱仪

表界面分析

接触角测量仪 表面张力

粉末/多孔材料测试

全自动化学吸附仪 比表面及孔隙度分析仪 Zeta电位及纳米粒度分析仪 激光粒度仪

镀膜/涂膜系统

电动涂膜机 旋涂仪 磁控溅射镀膜系统 原子层沉积镀膜系统

通用试验设备

数据采集系统 红外热像仪 流量计 真空封管机 手套箱