多模组三维光学轮廓仪
多模组三维光学轮廓仪

Zeta-20多模组三维光学轮廓仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-08-07 14:41:47
291
属性:
产地类别:进口;产品种类:非接触式轮廓仪/粗糙度仪;价格区间:50万-100万;应用领域:综合;ZSI模式分辨率::0.5?;最小台阶::0.1nm;
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产品属性
产地类别
进口
产品种类
非接触式轮廓仪/粗糙度仪
价格区间
50万-100万
应用领域
综合
ZSI模式分辨率:
0.5?
最小台阶:
0.1nm
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深圳市锡成科学仪器有限公司

深圳市锡成科学仪器有限公司

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产品简介

多模组三维光学轮廓仪标配ZDot白光共聚焦逐层成像,可选装多模式光学系统。

详细介绍

多模组三维光学轮廓仪Zeta-20标配ZDot技术,可选装多模式光学系统。强大的成像测量功能,使其能够对各种样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理等。

 纳米及微米级台阶测量

 粗糙度分析

 薄膜厚度测量

 三维轮廓测量

 全表面缺陷测量及分类

 特征图形全自动侦测与表征

 高深宽比表面轮廓成像

True color(真彩)无限远焦点图像

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多模组三维光学轮廓仪模式选择                                

适用范围

ZDOT

ZI

ZIC

ZSI

ZFT

粗糙度>40nm





粗糙度<40nm





大视场、Z轴高分辨





15nm~25mm台阶





5nm~100μm台阶





<10nm台阶





30nm<膜厚<75μm





膜厚>75μm






基础模块

横向准确度<1%

彩色CCD:2/3”,2448×2048

水平分辨率:54nm

可测高度:40mm

Z轴分辨率:13nm/2nm

光源:高亮度LED

自动XY载台150×150mm

样品反射率:0.5%~100


测试系统选项

标准物镜:2.5×,5×,10×,20×,50×,100×,150×

特殊物镜:长工作距离,浸没物镜,TTM物镜

ZI、ZIC、ZFT、ZSI(0.5Å分辨率,0.1nm台阶高度测试)


载台与卡盘选项

手动100mm×100mm或300mm×300mm载台  

自动150mm×150mm或180mmx200mm载台

压电陶瓷载台(2nm闭环精度,200µm工作距离)

高精度倾斜载台

手动旋转载台

卡盘:2"-6"、65mm-95mm、背光卡盘等,可定制

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