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多模组三维光学轮廓仪Zeta-20标配ZDot技术,可选装多模式光学系统。强大的成像测量功能,使其能够对各种样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理等。
纳米及微米级台阶测量
粗糙度分析
薄膜厚度测量
三维轮廓测量
全表面缺陷测量及分类
特征图形全自动侦测与表征
高深宽比表面轮廓成像
True color(真彩)无限远焦点图像
多模组三维光学轮廓仪模式选择
适用范围 | ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT |
粗糙度>40nm | √ | ||||
粗糙度<40nm | √ | ||||
大视场、Z轴高分辨 | √ | ||||
15nm~25mm台阶 | √ | ||||
5nm~100μm台阶 | √ | ||||
<10nm台阶 | √ | ||||
30nm<膜厚<75μm | √ | ||||
膜厚>75μm | √ |
基础模块
横向准确度<1% | 彩色CCD:2/3”,2448×2048 |
水平分辨率:54nm | 可测高度:40mm |
Z轴分辨率:13nm/2nm | 光源:高亮度LED |
自动XY载台150×150mm | 样品反射率:0.5%~100 |
测试系统选项
标准物镜:2.5×,5×,10×,20×,50×,100×,150×
特殊物镜:长工作距离,浸没物镜,TTM物镜
ZI、ZIC、ZFT、ZSI(0.5Å分辨率,0.1nm台阶高度测试)
载台与卡盘选项
手动100mm×100mm或300mm×300mm载台
自动150mm×150mm或180mmx200mm载台
压电陶瓷载台(2nm闭环精度,200µm工作距离)
高精度倾斜载台
手动旋转载台
卡盘:2"-6"、65mm-95mm、背光卡盘等,可定制