台式扫描电镜

EM-30﹢

超高分辨率台式扫描电镜，将台式电镜的分辨率提高到优于5nm的水平，可与传统大型扫描电镜相媲美。该机型配置了二次电子检测器及背散射电子检测器。使得台式电镜具备了完备的表面形貌及元素衬度的观测分析功能。

技术特点

² 超高分辨率（5.0nm @30kV SE）

² 放大倍数 x150,000

² 加速电压宽泛，1kV-30kV连续可调（1kV步进）；

² 自动马达台

² 可同时采集二次电子和背散射电子图像

² 全新升级的分析软件，舒适通用

² CCD样品导航

高分辨率

EM系列高分辨率台式（桌面式）扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，采用双聚光镜成像技术，与大型扫描电镜的成像方式一致，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而 可以获得更高的分辨率（<5nm），图像表面信息更丰富细腻，是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。

同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集

EM系列台式电镜可标配SE+可伸缩式BSE探测器，可实现对样品的元素衬度、形貌衬度分析，同时也可选配EDS探测器（能谱仪），对材料所含元素种类及分布进行快速的定性及定量分析。