MS120A-ULVAC爱发科 MS 系列螺杆型干泵真空泵_真空泵-池田屋实业(深圳)有限公司手机版

属性：: 泵轴位置:其他；抽气量:见参数；抽气速率:见参数l/s；电压:见参数V；功率:见参数kW；极限压力:见参数pa；流量:见参数m3/h；排出口径:见参数mm；输送介质:其他；外形尺寸:见参数；扬程:见参数m；叶轮数目:其他；应用领域:食品,化工,能源,建材,综合；重量:见参数kg；最大工作压强:见参数；订货号:175.030.770.78 周璇；

产品属性

关闭

产品简介

ULVAC爱发科 MS 系列螺杆型干泵真空泵
MS系列是螺杆型干式真空泵。
在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。
该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

ULVAC爱发科 MS 系列螺杆型干泵真空泵

特点

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

规格

型号		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排气速度 *1	m³/h	115	560	980
到达压力	Pa	≦0.6	≦0.1
电源电压		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷却水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
最大水蒸气处理量 13	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸气口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口		KF40
质量 *4	kg	139	241	264
适用规格		CE、cTUVus