SH200-R-ULVAC爱发科热阴极电离真空计传感器型_真空计-池田屋实业(深圳)有限公司手机版

产品简介

ULVAC爱发科热阴极电离真空计传感器型
这是一个新系列的传感器类型 “G-TRAN系列复合电离真空计“，可以实现不同的测量范围。
作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。
保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念，但进行了改进，更加人性化。

详细介绍

ULVAC爱发科热阴极电离真空计传感器型

特点

可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据

小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。

操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。

强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。

灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。

压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～5×10-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）。

可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。

用途

用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件。

用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式

高真空・超高真空设备的压力测量

规格

型号	SH200-A	SH200-R	HT200-E
规格	标准规格	串口通信规格	EtherCAT规格
适应多离子传感器	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器	多离子传感器：1本皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选）大其他传感器SAU：1本（可选）
测量精度（N₂）	SH200本体模式：±2％
取样时间	60ms
測定値出力	出力电压 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力换算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间	60msec
控制输入信号	FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑 * FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异	-	-
制御出力信号	传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信规格	-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED显示	POWER/ERROR：电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流	1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)
DEGAS	电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V
测量部耐圧性	2×10⁺⁵Pa （绝对压力） * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量	17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
使用温度范围	10～50℃
使用湿度范围	15～80%(不结露)
保管温度	-20～65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級	IP30
电源电压	DC20～28V (波纹，噪音1%以下)　 8W以下
输入/输出连接器	D-sub15销（M2.6螺丝）
重量	调节器：约280g　测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H	69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格	CE

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