Newport/美国 品牌
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ZVR 通过沿着旋转平台外圆周的三个点（以 120 度分开）刚性地支撑和驱动有效载荷。常规设计在旋转台中心使用一个单个凸轮、楔块或螺丝。具有串联导轨和驱动机制的 Newport 的三点设计具有很多优点，非常适用于轻微到不平衡载荷应用（例如，晶片探测），可以沿着卡盘的外边缘位置施加垂直力。因这些偏心负载造成的角变形降低到最小程度，并且在垂直运动期间也不存在弯曲现象。
ZVR 设计的一个重要性能是含有一个穿过转台中心的 50 mm 通光孔径，以支持通过电缆、线路和其他工具。
ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关，使用户可以设置垂直行程的上限。
ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关，使用户可以设置垂直行程的上限。
Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。
Compatible motion controllers for ZVR-PC are:
·XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
·SMC100 Motion Controller: SMC100CC for ϴ-axis and SMC100PP * for Z-axis.
* Minimum Incremental Motion for Z-axis is 0.25 µm with SMC100PP controller.
