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半导体微晶光刻机汞灯是一类专为微电子制造过程中的光刻环节设计的光源设备，主要应用于集成电路、液晶显示器和印刷电路板的生产。
这种汞灯通常工作在紫外线光谱范围内，能够提供高亮度、特定波长的光线，以实现精确的图形转移。其类型和功能多样化，能够满足不同光刻技术的需求。它的工作原理是通过瞬间高强度的紫外线照射，通过掩膜将电路图案精确地转移到硅片上的光刻胶上。
这类汞灯通常采用短弧设计，能够产生极其集中的光源。由于其在生产过程中的关键作用，这些汞灯的设计和制造要求非常严格，以确保光源的稳定性和使用寿命。例如，欧司朗（OSRAM）生产的HBO系列汞灯就广泛应用于半导体光刻领域。这些灯泡具备从200W到8000W不等的不同功率，以满足不同的生产需求。其优点包括使用寿命长、光衰率低、维护方便等。
