多功能集成测量附件

用于板材、块材及基板上的膜的分析，并可对其进行晶相检出、取向、织构、应力、薄膜面内结构等测试。

功能特点

采用透射法或反射法进行极图测试；

可以采用并倾法或者同倾法进行应力测试；

薄膜测试（样品的面内旋转）

应用领域

辊轧板等金属集合组织的评价；

陶瓷取向的评价；

薄膜样品晶体优先方位的评价；

各种金属材料、陶瓷材料的残余应力测试（耐磨耗性、耐切削性等的评价）；

多层膜的残余应力测试（膜的剥落等的评价）；

高温超导材料薄膜、金属板等表面氧化、氮化膜的分析；

玻璃、Si、金属基板上的多层膜的分析（磁性薄膜、金属表面硬化皮膜等）；

大分子材料、纸、镜片等电镀材料的分析。

多功能集成测量附件技术规格

α轴（倾斜）最小步距： 0.001°/步, 动态范围：-45°-90°      

β轴（自转） 最小步距： 0.001°/步,动态范围：0°-360°  

z轴最小步距: 0.001°/步, 动态范围：0-10mm             

样品尺寸: zui大Φ100mm，厚度可调