KASUGA 春日 静电电位监测器 KSD-0120

特征

一台控制器最多可连接2通道宽电位传感器（KS-2100），让您以低成本构建静电监测系统。

由于传感器部件较小，因此可以安装在各种制造设备内的狭窄空间内，并可以进行连续监控。

可以设置警报，因此如果超过设定的电位，可以与各种制造设备联动。

配备了新开发的表面电位传感器故障诊断电路，可以快速确认由于冲击等导致的传感器故障，并将其输出到外部。

它还可用于检查和管理离子发生器的有效性。

通过切换量程，可以在从低电位到高电位的宽范围内进行测量。

目的

监控平板显示器生产过程中的带电量。

半导体晶圆电荷量监控。

监控LSI搬运和印刷电路板运输过程中的带电量。

规格

主体

‍KASUGA 春日 离子发生器 KD-750BB /KD-750B‍

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