产品名称：KMLabs谐波发生源XUUS 5

产品型号：XUUS 5

产品介绍

XUUS 5 将超快激光脉冲上转换为光谱的极紫外 (EUV 或 XUV) 或软 X 射线区域。采用 HHG 工艺，输出光束继承了驱动激光器（如 KMLabs RAEA）的相干特性，波长可在约 10 至 50 nm 之间调节。此外，定制系统可以生成波长短至 6 nm 的相干光束。XUUS 5 采用 KMLabs 的空心波导进行高次谐波上转换工艺。

XUUS 空心光纤或波导架构使系统产生的谐波与其他 HHG 方法区分开来，保证谐波每次都来自空间中的同一点，更大限度地减少任何指向漂移。此架构可优化实验的可重复性。此外，使用光纤（而不是典型的气体喷射或semi-infinite气室目标几何形状）可为相位匹配 HHG 提供压力可调性。现在，您可以选择坚固性，而无需牺牲灵活性。

性能特点

l 空心波导中的高谐波转换可实现转换、稳定性、可重复性和稳健性。

l 对于苛刻的应用，EUV 通量可以超过 1×10¹² ph/秒。

l 超稳定的4轴主动光束稳定，可产生与可见红外激光器相当的 EUV 光束强度和波前稳定性。

l 高平均功率处理能力推动下一代实验。

l 用于性能监控和对准控制的诊断摄像机。

l 图形化、直观的软件控制。

l 在温度稳定的平台上进行稳定的工业光学安装。

l 不断增长的应用专用光束线系列可为您的实验提供量身定制的光子。

l 高度相干、类似激光的 EUV (XUV) / SXR。

l XUUS 系统配置可生成波长约为 6 nm 的软 X 射线。

l 波导设计允许使用高压气体，同时将气体用量降至更低：比气体喷射几何结构少 1000 倍，效率提高 1000 倍。

l XUUS 输出可针对不同的应用进行优化：ARPES、成像、瞬态吸收、MOKE、XMCD。

技术参数

产地：美国

波长范围（~800nm 泵浦）：~10-50nm

通量：高达 10¹²ph/s/谐波

通量波动（>8 小时）：<5% RMS

指向波动（> 8 小时）：<5µrad RMS

尺寸：1200 mm L x 330 mm W x 176 mm H

光束高度：4.5”(114.3mm)

生成波长：约6 nm

光束稳定：4轴

架构：波导

波导：空心

产品应用

光发射：tr-ARPES 和阿秒材料科学

纳米电子学计量学和 EUV 光刻支持

高分辨率和时间分辨无透镜纳米成像

超快磁性材料和自旋电子学研究

磁性、材料、分子和纳米系统动力学的高空间和时间分辨率泵探测研究

分子动力学和阿秒科学