原装 ROOKS 长期稳定性压力控制器 SLAMf-10 

原装 ROOKS 长期稳定性压力控制器 SLAMf-10 

一台设备支持多种气体，最大限度地提高工艺灵活性和生产率。 系列弹性密封质量流量控制器/仪表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技术，非常适合使用多种气体、经常更改气体类型或保持气体测量和控制精度的应用，是系统、过程和设施的理想选择。需要重新确定范围。凭借的流量测量和控制性能，将您的过程灵活性提升到一个新的水平。

利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间，该技术支持新的气体校准和满量程范围，而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)。

简单易懂的 MultiFlo™ 编程：60 秒内即可在不同气体选择之间切换

减少 OEM 和大型最终用户拥有的具有固定气体类型和流量范围的控制器库存

通过基于全球标准的高性能测量系统和校准实现的过程气体精度

耐腐蚀传感器提供传感器的长期稳定性，确保最大产量和吞吐量

用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断

弹性体密封件能够以合理的成本在各种应用中提供灵活的性能

支持多种协议通信接口集成到现有系统中

利用 MultiFlo™ 技术最大限度地延长工艺生产正常运行时间，该技术支持新的气体校准和满量程范围，而无需从气体管线中拆除质量流量控制器 (MFC)

适用于各种非腐蚀性气体

快速响应时间确保即使在工艺配方更改期间也能快速采取步骤

OEM 的理想选择：尺寸紧凑，可轻松集成到狭小的机器空间中并加快安装速度

可选的本地操作员界面 (LOI) 是用于本地查看、设定点控制和设备配置的统包解决方案。无需远程辅助电子设备。

多种通讯选项可满足您的要求

采用与大多数气体和液体兼容的硼硅酸盐玻璃管

浮子材料包括黑玻璃、316不锈钢、蓝宝石、Carboloy®、钽等。

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