全新-ULVAC爱发科 UNECS-1500A 分光椭偏仪_分光椭偏仪-池田屋实业（深圳）有限公司手机版

详细介绍

ULVAC爱发科 UNECS-1500A 分光椭偏仪

操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。

灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。

可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。

小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。

更丰富的阵容：除了模拟输出规格和串行通信规格之外，还将增加EtherCAT规格

一台三极管金属电离真空计（正在申请）：即使在恶劣的环境中，真空计的使用寿命也很长。

压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～1×10-5Pa）（选配SWU10-R的情况下）。

可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。

用途

用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认

用于在含有多种碳氢化合物（油类）的环境中进行测量

用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量

用于需要降低测定子更换频率的真空设备

具有映射功能的自动平台类型

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能，快速自动测量整个样品表面的膜厚，并通过彩色地图显示膜厚分布。

特点

高速测定：
的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量

规格

型号	1500年	2000年	3000A
波长范围	530～750nm、380～760nm（选择）
点直径	Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度	70o固定
膜厚再现性	1σ = 0.1纳米
膜厚范围	1纳米～2微米
测量时间	光接收：20ms至3000ms计算：300ms
平台	Φ150mm自动	Φ200mm自动	Φ300mm自动
自动测量	200点	200点	2,000点
控制PC	笔记本类型（带操作/分析软件）
机器构成	测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）

产品简介

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特点

用途

规格

常用功能直达