德国SPS-POLOS旋涂机SPIN200i为小批量生产而设计

POLOS 为半导体、生命科学、食品、实验室和制药行业提供高设备，特别是为大学、研发机构和小型生产设施提供支持。我们的产品组合包括用户友好和高度耐用的系统，主要应用于光刻和配置工艺领域。POLOS 公司成立于 2003 年，第一条产品线是单晶片旋转涂层系统。

主要产品：

SPS-POLOS旋涂机

SPS-POLOS匀胶机

SPS-POLOS光刻机

SPS-POLOS Spin200i旋涂机

POLOS Spin200i 是一种多功能、高质量的基材旋涂机，由 PTFE 或 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学品。

适用于镀膜、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。

适用于最大 8 英寸（200 毫米）晶圆

适用于最大 6 英寸 x 6 英寸（150 毫米）基板

材料 天然聚丙烯 (NPP)

12.000 RPM（取决于基底/卡盘）

高加速度和高精度

手动化学品分配

CW 和 CCW 旋转

带可定制图标的彩色触摸屏

USB 端口

型号示例：

SPS-POLOS旋涂机SPIN150X

SPS-POLOS旋涂机SPIN200i

SPS-POLOS旋涂机SPIN4000A

SPS-POLOS旋涂机SPIN5000A

德国SPS-POLOS旋涂机SPIN200i为小批量生产而设计