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产品简介： GSL-LCD 是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里， 移动柜可以承重 1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上 以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一 6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD 实验和各种材料的退火实验。
| 产品型号 | GSL-LCD(控制面板为触摸屏） | ||||
| 技术参数 | 功能 | 双通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
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| 质 子 流 量 控 制 器 | 工作温度： 5~45ºC 压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重 复 精 度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意： 其他流量范围的 可定制，需额外费用 | 工作温度： 5~45 ºC 压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意： 其他流量范围的 可定制，需额外费用 | 工作温度: 5~45 ºC 压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重 复 精 度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意： 其他流量范围的 可定制，需额外费用 | 工作温度: 5~45 ºC 压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客户要求 定制 |
| 产品规格 | 外形尺寸： 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
| 输入电源 | AC 220V/50Hz 单相 |
| 功 率 | 23W |
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| 各通道的气路设定和查看都集中在一 6"的触摸屏上
RS485 通讯接口和 PC 控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制 |
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PLC 触摸屏 |
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| 机械压力表 | 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
| 针 阀 | 316 不锈钢 |
| 通气管道 | 内部连接管道为 1/4”不锈钢管 外部通气管道为 1/4”聚四氟管
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| 混气罐 | Φ80X120mm |
| 截止阀及配 件 | 316 不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管 |
