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产品简介： 精密液体气相发生器是针对实验室 CVD 实验中导入液体的系统，其液体流量是通过数字液体泵 来控制， 流量为 80ml/min ，精确度为 0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装
置加热成蒸汽， 然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体， 如 ETOH 、SnCl4 、 TiCl4R、
SiHCl3 和 Zn（C2H5）2，以及多种有机物混合。对于研究用 CVD 方法生长纳米线和薄膜是的研究设备。
产品型号 | 精密液体气相发生器 |
主要特点 | 1 、流体和气体在一个 316 不锈钢罐中加热。 |
2 、采用 30 段程序化控温。 3 、气体流速通过浮子流量计控制。 4 、配有压力表，可测出液气混合罐中的气体压强。 5 、配有两个不锈钢针阀，以控制气体进出。 6 、可与本司所有管式炉和 CVD 系统相连接。 | |
7 、已通过 CE 认证。 | |
技术参数 | 1 、电源： 单相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率： 1000W 3、蠕动泵：精确度±0.02%FS ，流量 0-80ml/min （可调） 4、工作温度： 300℃ |
5 、控温精度：±1℃ 6、浮子流量计： 0-2000ml/min （可调） 7、出气口： 外径 1/4″ | |
产品规格 | 尺寸： 350mm×335mm×300mm；重量： 5kg |
可选配件 | 加热带（缠绕在外接的管道上，以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。）
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