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产品简介: 真空热压炉 OTF-1200X-VHP4 是在真空高压下制备致密化合物材料的理想工具, 在 5T 压力下 可键合多层基片。本机可以加热到 1100 ℃,并设有 30 段控温程序。
产品型号 | 真空热压炉 OTF-1200X-VHP4 |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
| 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电: AC380V 50Hz(63A 空气开关),必须有良好接地 3 、气: 设备腔室内需充注氩气(纯度 99.99%以上) ,需自备氩气气瓶(自带 Ø6mm 双卡套接头) 4、工作台: 尺寸 1500mm×600mm×700mm ,承重 200kg 以上 5、通风装置:需要 |
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主要特点
| 1、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高反射率和洁净度,同时延长使用寿命。 |
2、石英管两端设有带水冷的法兰。 | |
3 、在石英管内真空环境下,通过底部可调整弯管移动液压柱,将压力传输到模具。 | |
技术参数
| 1、输入电源: AC 220V 50Hz/60Hz 6KW |
2、输出功率: 2.2KW | |
3、石英管: 外径 Ø100mm ,内径 Ø95mm ,长 1200mm |
| 4、加热区域: 300mm
5、工作温度: 1100℃ |
| 6、控温精度:± 1℃
7 、电动压力泵负载: 20T
8、气缸: Ø25mm
9、可移动行程: 15mm
10、压力: 6T(压力表显示 10MPa)
12、真空度: 10-2torr (机械泵), 10-5torr (分子泵) |
产品规格 | 尺寸: 1050mm×750mm×1750mm;重量: 365kg |
可选配件
| 1、真空泵
2、循环水冷机 |
3、耐高温压力模具 |