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产品简介: GPC-100A 精确磨抛控制仪简称磨抛控制仪, 主要用来控制被研磨样品表面的平面度和平行度, 使磨抛后的样品具有高的尺寸精度和质量优良的表面状态。磨抛控制仪采用质量优良的不锈钢材料制成, 外形美观,制造工艺,主要适用于 UNIPOL-1202、UNIPOL-1502 研磨抛光机上,是工件进行磨抛时不 可缺少的精密磨抛器具, 尤其适用于晶圆样品、表面平行度和平面度要求高的大的圆片状样品的研磨。 GPC-100A 精确磨抛控制仪专用载样块用螺纹与控制仪进行连接, 试样装卡方式为真空吸附, 并配有数显 厚度测量仪,可实时监测样品减少的厚度,承载样件直径不大于 103mm 、厚度不大于 13mm 且具有工艺重 复性高的优点。
产品名称 | GPC-100A 精 确磨抛控制仪 |
产品型号 | GPC-100A |
主要特点 | 可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度,控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使 用,随时观测样品磨削量,尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高的晶圆样品研磨 使用。 |
技术参数 | 1、载样盘直径: Ø103mm 2、载样盘轴向行程: 12mm 3、数显表精度: 0.001mm 4、载样盘可调加载压力: 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程: 1g-5000g 6、样品装卡方式:真空吸附 7、承载样件尺寸:直径≤ 103mm、厚度≤ 13mm |
产品规格 | 尺寸: 外径 146mm ,高 266mm |
标准配件 | 1、真空泵 |
2、过滤瓶 3、底座 4、玻璃片 |