日本tsubosaka进口紫外线曝光设备精确控制 TSUBOSAKA/壶坂电机 UVL-3 特点介绍

用于光刻工艺的简单曝光和印刷设备

桌面型和一体型，节省空间

配备彩色液晶显示屏和十字键

精确控制照射时间

日本tsubosaka进口紫外线曝光设备精确控制 TSUBOSAKA/壶坂电机 UVL-3 规格参数

[操作步骤]

① 打开电源并打开灯泡

② 灯泡稳定后，调整并记录辐照度

③ 设置曝光时间

（以辐照度 x 时间显示曝光量）

④曝光 在时间曝光的情况下，快门自动打开和关闭

对于手动曝光，请在检查曝光量的同时手动打开和关闭快门。

产品名称紫外线曝光设备

产品名称紫外线曝光设备

模型UVL-3

光源超高压汞灯250W

辐照度 [mW/㎠]常规使用：20 - 22

最多：24

照度表面（宽x高）[毫米]照射范围： φ155

有效： φ113 mm

照度不均[±%]有效平面内8

显示/操作・主机操作

/外部通信控制

接触时间0.1 - 99.9（最长 99 小时）

样品台固定式/带平面微调机构

样品尺寸 [毫米 x 毫米]100×100

通讯接口连接器：USB 2.0 B 型

通信：带虚拟 COM 端口的 UART