Adwill-Global全自动紫外线照射机高性能 RAD-2010F/12 特点介绍

设计紧凑且高效率

上料平台&下料平台一体化，适用于300mm、200mm晶圆。一体化可实现设备尺寸的紧凑化，通过设计两条工作线路实现高产能。

高品质&高性能

对应紫外线硬化型切割胶带，由LINTEC公司开发的高性能设备。通过采用高功率紫外线灯实现最佳的照度和光照能量，通过对应不同晶圆照射时的光照强度检查、预防有氧环境下的紫外线照射等功能＊，全面发挥胶带的性能。＊向照射腔体内充入氮气，进行紫外线照射，以排除阻碍紫外固化反应的氧气。

舒适操作&安全性

采用大型触控面板，提高使用时的舒适度。提高了设备操作及其安全性，从设计到装配阶段都遵循了SEMI安全标准。适用于CE打标

封装工艺的FA化

通过配置主机通信功能、联机系统，实现综合性全自动化生产。

Adwill-Global全自动紫外线照射机高性能 RAD-2010F/12 规格参数

A．产品上料、扫片、下料

料盒内的产品在自动扫片确认位置状态后运输至校准单元。

B．照射准备

经位置校准的产品由传输手臂从下部轨道移动到照射腔体内，并移动至照射起始位置。此时氮气充入照射腔体内。

C．紫外线照射

照射腔体内的产品在紫外线灯上方移动，接受均匀的照射。

D．下料准备

已完成照射的产品将从上部腔体由传输手臂转移至产品校准部件的上部，等待着下料至料盒。