日本RIX半导体行业用单口、多端口旋转接头 L40系列/MFES系列 特点介绍

该旋转接头是为半导体行业供应纯水和化学溶液而开发的，主回路采用非金属材料，最大限度地减少金属离子溶出到液体中。

主通道采用非金属材料，最大限度地减少金属离子洗脱到流体中。

液体

纯水、化学溶液等

该旋转接头也是针对半导体行业而开发的，在与液体接触的部件上使用非金属材料或涂层，从而可以创建一种最大限度地减少金属离子溶出到液体中的结构。

特点

可使用非金属材料或对接液部件进行涂层，以最大限度地减少金属离子溶出到流体中。

流体

纯水、空气、真空、泥浆等

日本RIX半导体行业用单口、多端口旋转接头 L40系列/MFES系列 规格参数

压力（兆帕） 转速（分-1） 端口数量 

L40 1 600 1 

压力（兆帕） 转速（分-1） 端口数量 

MFES 1 200 2~ 

可使用非金属材料或对接液部件进行涂层，以最大限度地减少金属离子溶出到流体中。

流体

纯水、空气、真空、泥浆等

主通道采用非金属材料，最大限度地减少金属离子洗脱到流体中。

液体

纯水、化学溶液等

该旋转接头也是针对半导体行业而开发的，在与液体接触的部件上使用非金属材料或涂层，从而可以创建一种最大限度地减少金属离子溶出到液体中的结构。