日本DIC超纯水电阻率值防静电装置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 特点介绍

eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的中空纤维透气膜补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。

可得到防止因静电引起的 灰尘再次附着和基板图形的防 静电破坏的效果。

关于超纯水防静电装置

• 由于结构简单，故障少

• 采用的配管分配方式，易于控制电阻率值且稳定性优良

主要用途

• 掩模、网袋的清洗• 洗涤器清洗• 高压喷射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗

日本DIC超纯水电阻率值防静电装置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 规格参数

装置原理

通过调整用二氧化碳溶解模组生成的二氧化碳饱和水和超纯水的混合比率，可调节超纯水的电阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模组内的中空纤维膜内部流动。其间，从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW内。溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化，可使DIW具有导电性，消除静电。由于使用微细中空纤维膜束，可以有效获得二氧化碳溶解所需要的表面积。

eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的中空纤维透气膜补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。

可得到防止因静电引起的 灰尘再次附着和基板图形的防 静电破坏的效果。

关于超纯水防静电装置

• 由于结构简单，故障少

• 采用的配管分配方式，易于控制电阻率值且稳定性优良

主要用途

• 掩模、网袋的清洗• 洗涤器清洗• 高压喷射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗