日本MARUWA石英玻璃高纯度材料半导体领域用 特点介绍

MARUWA的石英玻璃制品是使用精选的高纯度材料，其的加工技术与在管理的洁净环境中的生产体制独树一帜。

从逐渐大型化的半导体制造工序用产品到光纤、太阳能电池这种新生代产品的制造工序用石英管、石英舟等，能根据客户的要求提供各种产品。

以新生代的18英寸（450mm）为目标，导入大口径机床和加工中心等设备，确立了12英寸（300mm）晶圆炉心管等大型产品的制造技术。

确立了借助于先进的NC加工机的精密研磨加工、细眼穿孔加工等精密细微加工技术。

另外，还可进行像气体导入管中的细孔加工等借助于激光加工机的任意曲线切断加工。

因火处理以后的所有工序都在洁净环境下进行，最大限度地抑制了产品的污染。特别是出厂检查、最终洗涤、真空包装等工序是在等级1000以下的洁净环境下操作的，可保证在无污染的状态下交货。

日本MARUWA石英玻璃高纯度材料半导体领域用 规格参数

可对应包括半导体制造流程的扩散CVD、洗涤、蚀刻等的所有工序。

也可对应12英寸（300ｍｍ）以上大型产品的制造。

化合物半导体领域

MO-可对应包括MO-CVD的各种流程。

管式反应器

箱式反应器

大型托盘

光纤领域

可对应光纤基材处理、燃烧器、燃烧室等各流程的石英产品。

石英炉心管

石英多重管燃烧器

光纤基材细孔加工

各种石英室

太阳能领域

可对应硅片用石英产品。

石英管

石英舟