日本Napson手持式探针无损测量电阻测试仪 EC-80P 特点介绍

只需简单接触笔型探针即可进行测量

可在任意位置进行测量，不会损坏样品

易于操作的手持探针

通过切换测量模式，调整片材电阻和电阻率

可显示在

通过JOG拨盘轻松设定测量条件

电阻测量探头按范围排列

宽敞，支持广泛的范围

（电阻探针:最多2根+PN判定探针

同時接続可能）

探头2~第三条是可选的。

测量光斑直径（探针芯直径）:

14mmΦ

日本Napson手持式探针无损测量电阻测试仪 EC-80P 规格参数

芯片样品；

硅载体、化合物（GaN、GaP）、Epi、

扩散层、SiC等

各种薄膜样品；

半导体处理膜、金属膜、ITO膜等

其他

*原则上，如果在测量范围内，则为

也可以用样品进行测量。

[电阻率] 1m 至200Ω.cm

(*所有探头类型的总范围/厚度500um)

[表面电阻] 10m 至3k2/sq

(*所有探头类型的总范围)

*有关每种探头类型的测量范围，请参见下文。

(1)低:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω.cm)

(2)中:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω.cm)

(3)高:10~1,000Ω/□(0.5~60Ω).cm)

(4) S-高:1,000-3,0002/□(60-200Ω.m)

(5)太阳能晶圆:5-500Ω2/□(0.2-15Ω.cm)

产品尺寸

·机身:W255xD275xH95mm,4kg

·探头部分:20mmΦx80mm