日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 特点介绍

降低成本  用臭氧水替代现有化学溶液

改善工艺性能

半导体晶片清洗去除颗粒、金属、有机物质等杂质

提高太阳能电池板的发电效率良好的纹理形成、杂质去除等。

减少环境影响（环保）

通过减少化学品排放实现排放

通过使原料气体（氧气、空气）流入双石英玻璃管之间的间隙中产生的无数微细放电（无声放电），在原料气体中产生臭氧。

所有与气体接触的部件均由石英制成，因此不存在金属污染。

高浓度臭氧

臭氧水中半导体、液晶、太阳能电池等金属杂质清洁规范

臭氧浓度迅速上升，约1分钟内达到最高臭氧浓度。

小型装置宽600mm×深600mm×高1300mm（25ppm、5L/min规格）

与其他公司相比便宜

日本MTK臭氧水发生设备清洁半导体和液晶 MTK-HC系列 规格参数

・液晶（有机物除去用）

・半导体

（金属、粒子、有机物除去用）

・太阳能电池

（有机物、粒子除去用）

・MEMS部件、传感器等

（有机物、粒子、有机物除去用）金属）・洁净规格（不含金属）

・涵盖高浓度、高流量

・浓度稳定性

・性价比

半导体（清洗）

FPD、LCD（清洗）

MEMS、传感器（清洁）

硬盘（清洁）

太阳能电池（清洁）

医疗（洗手、纯净水管道清洗）

食品（洗手、杀菌、除臭）