日本technorise抛光研磨机加工玻璃、晶圆等 TR06M 特点介绍

由于设备机身尺寸紧凑，尺寸为 350mm x 220mm，因此可以安装在任何地方，并且仅在 AC100V 下工作。

可加工金属零件、玻璃、晶圆等，通过更换抛光盘，不仅可用于研磨，还可用于抛光和简单的CMP。

我们还支持使用浆料的湿式抛光和使用抛光片的干式抛光。

更换板材，包装。可以对应抛光。·仅使用AC100V电源进行工作。也可对应使用浆料的湿研磨片的干研磨。可变更板转速。通过定时器可以实现自动驾驶。非常适合小口径芯片和芯片的简单CMP。※CMP:化学机械抛光化学机械研磨

卷板尺寸外径Φ150mm卷板转速0～80rpm工件最大轴数2轴最大加工尺寸圆形约φ50mm装置尺寸宽度340mm×厚度220mm高度310mm。装置重量20kg电源AC100V

日本technorise抛光研磨机加工玻璃、晶圆等 TR06M规格参数

搭接板相关

 搭接板尺寸 外径Φ150mm

 搭接板转速 0~80rpm

无级变速

工作轴

 最大轴数 2轴

加工对象

 最大加工尺寸：圆形 约φ50mm

设备重量尺寸

 尺寸 宽340mm×深220mm×高310mm

 重量 20公斤