日本nasgiken微量金属污染物自动回收装置 NAC-302 特点介绍

●硅片的处理过程是自动化的，从气相分解到污染物回收再到收集样品的稀释。

●疏水性和亲水性晶圆均可收集（斜面收集只能收集疏水性晶圆）。

●当需要同时对大量晶圆进行采样和分析时，这是一种极其强大的设备。

●具有对回收的药液进行计量和稀释的功能，防止晶圆上残留的药液继续作业。

●双门结构，防止工作空间内的酸性气氛和工人的污染。

●配备自动清洁取样用支架的功能，减少操作员的工作量（*前支架和侧支架兼容）。

我们还拥有全自动执行“批量蚀刻→晶圆污染恢复”的设备（NAC-304）。

此外，近年来，为了减少污染，对能够执行“整体蚀刻→晶片污染回收→ICP-MS连接和自动元素分析”整个过程的设备的需求非常高（NAC-316）。

日本nasgiken微量金属污染物自动回收装置 NAC-302 规格参数

设备名称 NAC-302 NAC-304 NAC-316 

兼容晶圆尺寸 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 300毫米 

内置电脑 

外形尺寸（宽×深×高）（毫米）（*1）1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300

使用设备酸排放、一般废气、酸废气

使用地点无尘室内部