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日立扫描电子显微镜
SU8600
高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
*设备照片包含选配项。
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还提升了高通量、自动数据获取能力。
特点
*高分辨成像
日立的高亮度电子源可保证了即使在低着陆电压下，也可获得高分辨的图像。
高衬度的低加速电压背散射图像
3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下，背散射电子信号能够显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。
快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.
自动化功能*
EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
灵活的用户界面
原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。
日立扫描电子显微镜
技术参数
机型 | SU8600 系列 | |
电子光学系统 | 二次电子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
电子枪 | 冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统。 | |
加速电压 | 0.5 to 30 kV | |
着陆电压 * | 0.01 to 20 kV | |
探测器 | （部分为选配项） | 上探测器(UD) |
UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能 | ||
下探测器(LD) | ||
顶探测器(TD) | ||
TD能量过滤器 | ||
镜筒内背散射电子探测器(IMD) | ||
半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED) | ||
新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) | ||
阴极荧光探测器(CLD) | ||
扫描透射探测器(STEM Detector) | ||
附件 | （部分为选配项） | 导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
软件 | （部分为选配项） | EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下） |
样品台 | 马达驱动轴 | 5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T） |
马达驱动轴 | X：0~110 mm | |
Y：0~110 mm | ||
Z：1.5~40 mm | ||
T：-5~70° | ||
R：360° | ||
样品室 | 样品尺寸 | 直径可达：150 mm |
*减速模式下
