写真化学膜厚测量装置

标准型号可测量膜厚对象：

抗蚀剂厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

端点检测

贴合晶片等

自动映射膜厚仪

可测量膜厚对象：

抗蚀剂厚度

贴合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

带图案晶片等

分为：标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪

写真化学膜厚测量装置

通用型膜厚监视器(标准型号)

● 可用作端点监视器

● 也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料

通用型膜厚监视器(红外透射式型号)

● 对应反射弱的薄膜材料

● 可对应卷对卷测量

自动映射膜厚仪

● 除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外，还自动解析直方图等统计信息

● 标准对应φ100～300mm的圆形晶圆，也可对应方形被测物等特殊形状，可选配定制载物台板

● 可对应选配项目中的自动校准

成像膜厚仪

● 微细二维膜厚分布原位的可视化

● 通过在GUI上区域，计算微小区域的膜厚