ess-mikromechanik压力真空空气轴承 DVL-50

DVL系列产品描述

真空预紧的空气平面轴承通过同时进行吸力和排斥力固定在导向面上。通过专门调整压力和真空度，空气轴承的实际飞行高度和

取决于空气轴承的刚度可以得到优良调整，并适应相应的应用。此外，由于所述调整选项，该空气轴承具有在垂直方向

上在亚微米范围内发生位置变化的效果。

DVL系列技术描述

行程无限制

负载能力见表

驾驶-

控制-

安装位置 任意

最大工作压力 5 bar

工作温度 15 至 35°C

储存温度 2 至 40°C

能力特点

可调节的刚度，亚微米范围内的位置变化良好的泄气保用特性。

有针对性地调整压力和真空，实现优良刚度

这些方便的动力装置通过同时抽吸（真空）和推出（压力）实现刚度的单独调整值。

尺寸

底座直径（A）50mm

底座高度（B）25mm

C 13.5mm

D 29mm

G M10x1，M12x1 

负载能力  375N

兼容组件

空气轴承线性装置构成了亚微米范围内所有运动轴的基本组成部分。它们由不同的材料制成，具有高的精度。

由于这些组件彼此兼容，因此存在大量可能的变体。这些也是我们的客户可以使用的这个精度等级中全面的

超精密导轨系统系列的基础。

ess-mikromechanik压力真空空气轴承 DVL-50