德国马尔Mahr 130粗糙度仪
最高精度
用于粗糙度和轮廓
及 130 mm 测量路径
Mahr马尔 计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。
MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在第一代设备经验的基础上,又经过系统化的设计。
各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。
亚纳米级分辨率和残余噪声<20 nm Rz 只是一些基本要求。
MarSurf LD 130 | 产品编号 6720821 | |
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分辨率 | 0.8 nm |
扫描长度开始(X 方向) | 0.1 mm |
测量速度 | 0.02 mm/s 至 10 mm/s |
扫描长度末尾(X 方向) | 130 mm |
定位速度 | 0.02 mm/s 至 200 mm/s |
扫描长度 | 0.1 mm 至 130 mm |
导块偏差 | 0.10 µm / 60 mm 0.20 µm / 130 mm |
测量力 (N) | 0.5 mN 至 30 mN,软件可调 |
测头 | 集成粗糙度和轮廓测头系统 |
测杆长度 | 100 mm、150 mm、200 mm |
重量 | 23 KG |
测量范围 mm | 13 mm(100 mm 测杆) |