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GYS-4F浮子供气系统一款二通道混气系统(1单独2混气),用于情性气体的控制,可用于管式炉、手套箱、等离子清洗机、CVD系统、小型PECVD系统等
产品型号 | 供气系统 GYS-3F |
产品特点 | 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。 尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 显示流量准确,可有效控制气体的消耗量 设备底部有滚动轮,方便移动使用方便,无需通电 |
产品参数 | 浮子流量计量程: 10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min; 精度:4% 压力表量程:-0.1-0.15MPa 通气管道: φ6.35mm的聚四氟管 选配:浮子流量计量程可选配,5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。 |
混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐,可更好的混合气体 混气罐尺寸:直径76*长154mm |
气口/阀门 | 背面的进气与出气口均为φ6.35的卡套接头,进气口通过四氟管连接气瓶,出气口通过四氟管连接到设备的进气口 两个通道气体进入混气罐混气,一个气体通道独立 前面板的四个不锈钢针阀控制气体的进出,独立通道的进出气不受针阀控制。 |
产品尺寸 | 外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm 重量:约30Kg |
售后 | 质保期一年,终身维护;24小时在线服务 |
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