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特点：
1.行程大，测量范围更广
2.自主开发QMS3D软件，可满足客户不同测量需求
3.具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能
4.采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力
5.配置操纵手柄，亦可软件程控
6.SPC数据处理分析，大批量治具测量
7.X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高速度快，运行平稳
8.采用自主开发的嵌入式模块控制系统，将复杂的控制系统集成于仪器内部，稳定性更高
9.程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量
10.X、Y向导轨采用高精度花岗石，具有高稳定性及刚性，不易变形
11.X、Y向移动的部份采用低摩擦，高速度，高精度的气浮移动导向系统
12.采用同布带或丝杆传动，精度高，稳定性好
13.花岗石直线度和玻璃平面度好，花岗石导轨无摩擦、不磨损
14.可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷
技术规格参数:
| 型 号 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
| 工作台 | 玻璃台尺寸（mm） | 640×770 | 640×1070 |
| 运动行程(mm) | 600×600 | 600×900 | |
| Z轴升降行程(mm) | 150 | ||
| 示值误差（μm） | E1XY=(2.5+L/200) | ||
| X、Y、Z数显分辨率 | 0.5μm | ||
| 影像系统 | 摄像机：1/2"彩色CCD摄像机 | ||
| 变倍镜头倍率：0.7X～4.5X 视频总倍率：20X ～128X（21.5”显示器） | |||
| 物方视场：11.1mm～1.7mm | |||
| 仪器外形尺寸(L×W×H) | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
| 仪器重量(Kg) | 1281 | 1500 | |
| 功率 | 1000W(不含电脑) | ||
| 电源 | AC 220V 50/60Hz | ||
| 气源压力 | ≥0.5MPa | ||
| 空气流量 | 120L/min(0.4MPa) | ||
| 温度范围 | 20±2℃ ,＜1℃/h ,＜2℃/24h ,＜1℃/m | ||
| 湿度 | 55%～65% | ||
