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近年来半导体行业的快速发展,超高纯316L不锈钢,符合SEMI F20标准,通过真空感应熔炼+真空自耗重熔(VIM+VAR),并使用特殊的工艺处理,对材料进行很大的提纯,进一步减少了材料中的的非金属夹杂物和气体成分。EP管(316L,VIM+VAR)是表面经过电解抛光处理,以提高产品内部的平滑性,并在金属表面形成富铬层以提高耐腐蚀性,电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子。EP抛光产品经 SEM、 ESCA/XPS、AES分析,产品质量满足半导体协会 SEMI F20 标准。
基于EP抛光(316L,VIM+VAR)技术的发展,鑫视科shinsco采用国内优秀企业生产的EP管(316L,VIM+VAR)和EP自动阀门,替换了光催化活性评价系统的原有玻璃管路和阀门,并实现了PLC全面控制整套系统,实现了SSC-PCAE的全自动化运行。
SSC-PCAE光催化活性评价系统(Photocatalytic activity evaluation system)沿用半导体行业的真空技术,将玻璃管路和阀门替换为EP管和EP自动阀,实现了整个系统的全自动控制实验过程,全自动在线采样分析,实现了实验中真正的全自动运行。SSC-PCAE主要应用于光解水、全解水、电催化、光催化CO2还原、光催化固氮、光电催化气体产物分析、耐压釜式反应、催化反应的微量气体收集等。
1)封闭反应的产物气体收集、采样、在线分析的一体化系统;
2)内置气体磁力增压泵,形成高强压差,实现气体快速混匀;
3)全系统耐压-14.6psi~150psi,实现了从真空到10atm的压力覆盖;
4)应用半导体材料(TiO2、InO、C3N4、CdS等)催化剂的活性评价;
5)催化剂产氢、产氧、光解水的性能分析;
6)催化剂二氧化碳还原的性能分析;
7)系统可配和玻璃、石英、不锈钢、PEEK、PTFE等材料制备的反应器使用;
8)可满足光电反应、气固反应、膜催化、多相反应等特殊实验要求;
9)系统管阀件全部采用EP(316L,VIM+VAR)管和EP阀,对气体无吸附;
10)系统即装即用,可兼容任意厂家气相色谱仪,无需额外增加进样阀门;
11)GC测试范围广,氢、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、C1-C5等微量气体。
项目 | SSC-PCAE-150 |
系统真空度 | -0.1MPa(-14.6psi) |
系统耐压 | -14.6psi ~150psi |
管路材质 | EP电解抛管(316L,VIM+VAR);体积50ml±5 |
阀门 | EP隔膜阀 |
玻璃反应器 | 100ml(标配)、250ml、25ml、50ml;石英通光 |
选配 | 316L不锈钢反应器、石英或蓝宝石通光 |
采样方式 | 全自动采样在线分析,可对接任意品牌色谱,GC无需加阀改装 |
控制方式 | 全面PLC数字化控制,10英寸触摸屏,可以实现与GC、光源、真空泵等辅助设备对接控制。 |
真空泵 | 反控自动启停,2L/s,含防倒吸电磁阀和单向隔膜阀,双重保护系统 |
测试精度 | 0.01ml& 0.1s |
光源放置 | 光源可以根据需求置于体系前端或后端平台,易于反应器的更换和光源的取放; |
测试范围 | 氢、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、乙醛等微量气体,H2、O2 >0.001ml;CO、CO2、CH4>1ppm;CH3OH、HCOOH、CH3CH2OH、CH3COOH>10ppm; |
推荐配套设备 | 1) 气相色谱: HF901(EPC+EPC),HF901A、岛津、安捷伦 2) 光源:SSC-PCX300-K25氙灯、SSC-LED300W LED光源、SSC-XS500-S21 3) 光功率计:SSC-OPM2000 |