产品详情：

近年来半导体行业的快速发展，超高纯316L不锈钢，符合SEMI F20标准，通过真空感应熔炼+真空自耗重熔（VIM+VAR），并使用特殊的工艺处理，对材料进行很大的提纯，进一步减少了材料中的的非金属夹杂物和气体成分。EP管（316L，VIM+VAR）是表面经过电解抛光处理，以提高产品内部的平滑性，并在金属表面形成富铬层以提高耐腐蚀性，电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子。EP抛光产品经 SEM、 ESCA/XPS、AES分析，产品质量满足半导体协会 SEMI F20 标准。

基于EP抛光（316L，VIM+VAR）技术的发展，鑫视科shinsco采用国内优秀企业生产的EP管（316L，VIM+VAR）和EP自动阀门，替换了光催化活性评价系统的原有玻璃管路和阀门，并实现了PLC全面控制整套系统，实现了SSC-PCAE的全自动化运行。

SSC-PCAE光催化活性评价系统(Photocatalytic activity evaluation system)沿用半导体行业的真空技术，将玻璃管路和阀门替换为EP管和EP自动阀，实现了整个系统的全自动控制实验过程，全自动在线采样分析，实现了实验中真正的全自动运行。SSC-PCAE主要应用于光解水、全解水、电催化、光催化CO2还原、光催化固氮、光电催化气体产物分析、耐压釜式反应、催化反应的微量气体收集等。

产品优势：

1)        封闭反应的产物气体收集、采样、在线分析的一体化系统；

2)        内置气体磁力增压泵，形成高强压差，实现气体快速混匀；

3)        全系统耐压-14.6psi ~150psi，实现了从真空到10atm的压力覆盖；

4)        应用半导体材料（TiO2、InO、C3N4、CdS等）催化剂的活性评价；

5)        催化剂产氢、产氧、光解水的性能分析；

6)        催化剂二氧化碳还原的性能分析；

7)        系统可配和玻璃、石英、不锈钢、PEEK、PTFE等材料制备的反应器使用

8)        可满足光电反应、气固反应、膜催化、多相反应等特殊实验要求；

9)        系统管阀件全部采用EP（316L，VIM+VAR）管和EP阀，对气体无吸附；

10)    系统即装即用，可兼容任意厂家气相色谱仪，无需额外增加进样阀门；

11)    GC测试范围广，氢、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、C1-C5等微量气体；

技术参数：

实物图：