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实验室真空变温电学测试平台，外部可移动探针臂精准点针，为真空变温实验提供解决方案，同时可集成显微镜、光谱系统进行材料表征。
┃ 设备特点
温度范围 -190℃～400℃，RT~1000℃
温度稳定性 ±0.05℃
样品区 Φ26mm
探针数量 4~7个
电学接头 BNC 三同轴BNC 可选
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选 探针臂行程 粗调 20mm*20mm，微调 10mm*10mm*3mm，精度＜10um
适配仪器 显微镜 光谱仪 铁电 介电 电化学工作站 磁场 电学源表 半导体分析仪 DLTS
