日本 YAMAMOTO 山本镀金 电镀实验装置

日本 YAMAMOTO 山本镀金 电镀实验装置

2-12英寸硅片电镀设备一套。通过使用特殊的夹具，可以进行半导体和MEMS的精密电镀。

特征

水族箱的结构是不断进行过滤，同时从水箱底部产生温和的对流，导致溢出。

有可进行高速搅拌的1面溢流型和2面溢流型。使用桨式搅拌直接搅拌。

也可作为生产设备使用。

基材材质

它不仅可用于硅晶圆，还可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。

关于定制生产

基于标准设备，我们可以定制形状与您的样品相匹配的夹具和双面电镀夹具。我们
还拥有阳极氧化和阳极氧化夹具等制造设备的跟踪记录。
夹具有全密封夹具、非密封夹具、卧式夹具等多种类型

(*1) 请选择定向平面型/缺口型。 还备有密封型/吸入密封型
（*2）不溶性阳极也备有隔膜型。
(*3) 英寸数填写在产品编号的□标记中。
(*) 这是一套适用于 YPP 电源的电源、温度控制器和阳极板单独出售。请与A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D分开 电源。PC单独出售。

该设备对硅片和板状样品进行化学镀。电镀是通过旋转一张或多张晶圆并上下摆动它们来进行的。它还可用于清洁样品。

这是电镀用摇摆装置，尺寸与晶圆水箱兼容。在样品附近搅拌可提高电镀沉积的均匀性。