美国TEGAM 9072J 型高压放大器微机电驱动系统

• 完整的软件工具

• 任意/函数波形发生器

• 精确的信号放大

• 立体变焦三目显微镜

• 高分辨率视觉系统

• 实验室微型探针台应用

• MEMS/NEMS器件

• 压电器件

• 传感器开发

• 微型驱动器

• 教育, 科研, 技能培训

美国TEGAM 9072J 型高压放大器微机电驱动系统

TEGAM9072J 型高压微机电驱动系统具有高分辨率，高电压波形，

价格经济实惠，是一套适合目前科研人员，学生和老师使用的强大工

具。教师通过外接投影仪可以用该系统向学生展示理论概念，而科研

人员能以视频和图片的方式记录设备操作以便于相互之间的合作。

9072J高压微机电驱动系统*推出了一套用于微电子器件驱动和可

视化测量的完整系统。

MEMS移动

自 从 MEMS技术产生以来 ，TEGAM产品就一直用于MEMS器件的驱动。

通常使用三个工具即可实现MEMS移动：

1. 一个任意波形发生器

2. 一个功率放大器

3. 一个夹具或一个探头

使用波形发生器可实现适当的驱动触发，发生器通常限定为10 Vp - p。

根据被驱动的元器件不同所要触发的振幅也有所不同。电压放大器可

以把发生器的低电压输出幅度提高到更高的驱动值，以满足微电子器

件测试时的驱动电压值。因为大多数的器件都有正常的操作频率和振

幅，所以老师和学生应采取一定预防措施来选择合适的驱动值。科研

人员在生产MEMS/NEMS器件时应该从低频率和低电压开始，逐步提高

两项的值以达到期望的结果。

问题

微机电器件是如此之小，如果没有视觉辅助系统就检测不到它的正常

移动。科研人员通常使用单一的光学检测显微镜观察移动，但是这种

检测方法对于一些小组成员，想集体观察实时发生的情况是有局限性

的。完整的测量系统还需补充额外的驱动触发和测量设备。

TEGAM的解决方案

9072J高压微机电驱动系统包括：

1.2732：双通道任意波形发生器

2.软件：Excel/WaveWorks DDS,

Video Image Express

3. 2350：双通道电压放大器

4. 戴尔电脑

5. 显微镜/照明

6. 微探针台

7. 高分辨率视觉系统和软件

函数发生器

TEGAM9072J型高压微机电驱动系统包括一个2732函数发生器，

它具有两个单独的通道，可提供两个独立的达50MHz的波形。 2732

同时具有同类任意波形发生器中zui大的存储量，达400万点的数据存

储，拥有14位分辨率。

函数发生器软件

随 机 的 软 件 包 为 WaveWorksDDS TM ，允许进行逐点的操作和

创建波形。创建后的、可达400万点×2通道的波形，可通过RS-232接

口 或 GPIB接 口 下 载 至 仪 器 。WaveWorks DDS TM 软件也可以从

泰克，力科，安捷伦等公司大多数的示波器中导入波形。创建波形的

另一个有用工具是Microsoft Excel，用Excel表中普通的数学函数功能

就能够创建不同的波形，长度可达65,535点。用户还可以在Excel中

用图表工具预览波形数据。生成的数据可以保存到文件中，然后导入

WaveWorks DDS TM 软件。2732采用逗号描述导入方式， 可从允许逗

号分隔文件的任何软件中导入数据，如MATLAB®，示波器文件，或从

其他可生成CSV格式的设备中导入数据。

电压放大器

TEGAM2350型电压放大器被用做2732函数发生器的补充放大器。

9072J高压微机电驱动系统中包括一个固定增益为50倍的，2350型双

通道放大器。

许多微机电器件需要超过100 Vp – p的驱动触发，2350放大器拥有400

Vp - p的zui大输出电压，能够满足目前MEMS元器件的驱动需求和未

来可能的技术发展。在40 mA的连续电流下，2350可以驱动达200pF

的电容负载，同时保持200kH  z的全功率带宽。

计算机/显微镜/照明

9072J高压微机电驱动系统还包括一个PC机，预装的软件包括：

1. WaveWorks DDS

2. Excel

3. Video Image Express Control

和测量软件

三目立体显微镜同步实现现场立体观测和摄像头成像。每个系统都配

备一个360°的无影环形荧光照明器，以便实现合适的照明。

摄像头

USB2.0接口的摄像头无需复杂的视频采集卡即可快速、轻易的获取图

像。摄像头分辨率可选，能够达到每秒25帧的实时图像观察。高分辨

率(300万像素)的图像捕捉性能极其适合于检测使用。而一个简单的

用户软件界面即可实现对摄像头的控制，只要点击一下鼠标就可以捕

捉到图像并以.jpg和.bmp的格式保存图像。

微探针台

这个坚固耐用的基础探针台可用于先进的有源和无源器件的研究，也

可用于高校的教学和培训。探针台由一个真空固定的精密的X-Y轴和Z轴

升降台组成。为便于操作，测试设备的移动不依赖探头位置的作用。坚固

的三轴定位在X轴，y轴和Z轴上有25mm的调整范围，并磁附到平台上。

参数

美国TEGAM简介

TEGAM 公司成立于1979年，总部和生产设在美国俄亥俄州克里夫兰市东，专注于设计、生产多种测试测量和校准仪器。

TEG AM 公司微欧计和阻抗测试产品广泛应用于军用和民用航空业的设计、制造和维护M R O 过程中的各个检测环节，使

用TEG AM 公司仪器的客户包括：

•  波音公司

•  麦道公司

•  洛克希德.马丁公司

•  斯科斯基公司

•  贝尔直升机公司

•  休斯直升机公司

•  罗克韦尔公司

•  通用动力公司

•  众多航空公司的MRO基地

•  美国国防机构

校准和服务计划

校准、延长保修期和服务计划适用于所有的TEG AM 产品。这些计划节省您的时间和花费，并且确保您的仪器性能得到优化。这些计划可以伴随着新仪器的采购、以优惠的价格购买。TEG AM 获得更多信息。

实验室认证

TEG AM 公司符合ISO /IEC 17025;2005中“测试和校准实验室能力的通用要求”的条件和要求，通过了 A2LA (美国实验室认证委员会)的认证，达到ISO /IEC 17025:2005的要求。认证号码 2018.01.

R 1L-E2A本安型搭接电阻表和微欧计，满足的标准. ATEX Ex ia IIA T4 G a和 C -U L-U S Listed C lass I D iv.1,G roup D com pliance w ith AN SI/U L 913-1988, Fifth Edition, 21 Feb.,1997