华尔升真空箱式氦质谱检漏系统

半导体行业氦检系统

性能介绍：

设备主要用于半导体行业自动测漏，对缸体典轴箱体、油道、水道进行气密性检测，并具备对检测数据进行存健、工件计数、工件识别等功能，包含1台设备的扫码、试离、通用液压站，自动输送、剔料辊道、储料系统、安全装置。

技术指标：

测试量程　　　　 0～500KPa　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

测量精度　　　　1.0×10 Pa·m'/s

测试方式　　　　氦检　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

检测节拍 　　　　5s/P

漏率显示　　　　Pa·m/s、 mbarl/s、atml/s、tor/s、sccm　　　　　　　　

时间设定　　　　999.9秒（最小0.1秒）

扫 　　码　　　　支持二维码扫描　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

环境温度　　　　5～45℃

湿　　度　　　　80 %RH 以下，但不结露　　　　　　　　　　　　　　　　

供电电源 　　　　220V　 50Hz

功 　　率　　　　3KW　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

气　　源　　　　 0.5～0.7MPa (He和N₂)

电池盖板爆破呼吸耐压气检测试系统

系统概述：

1.本设备是针对电池防爆阀呼吸测试。设备主要具有以下功能：

2.防爆阀呼吸测试：从外向内(测试压力、测试时间、测试次数系统可调)；

3.防爆阀呼吸测试：从内向外(测试压力、测试时间、测试次数系统可调)；

4.供方根据蓝本工件尺寸制作一套检测工装；

5.测试过程全自动完成。

主要技术参数：

压力传感器量程 　　　　0.1-2.0MPa；分辨率：0.01MPa；精度；±0.5%　

比例阀重复精度　　　　 ±1%以下（量程）

比例阅灵敏度　　　　　 ±1%以下（量程）　　　　　　　　　　　　　

比例阀输出压力精度 　　±2%以下（量程）

装　置　电　源　　　　220V， 50Hz， 1KW　　　　　　　　　　　　　

压　缩　空　 气　　　　>0.5MPa（气动元件用）

设　备　重　量　　　　约500kg　　　　　　　　　　　　　　　　　　

设备外形尺寸 　　　　　1300（长）x600（宽）x1500（高）（mm）

散热器氦检系统

系统概述：

1.本设备适用对换热器进行干式捡漏。主要具有以下边能；

2.对被检工件保压检大漏；

3.对被检工件抽真空并充注氦气(0～4MPa，此总围内可调】；

4.真空箱法氦质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格；

5.不合格工件箱外吸枪寻找漏点功能；

6.没备预留气国收接口；

7.人工扫弱功能，能与MES系统相连；

8.管道留接口，以满足多箱联动需要；

9.真空箱外配2套工件车(一备一用》；

10.PLC控制，摸屏操作，检测过程全自动

主要技术参数：

检测漏率 　<2.2×10^-7Pa·m³/s 　　　真空箱数量 　　　1只　　　　　　

检测节拍 　5分钟/件　　　　　　　氦气压力 　0～4MPa，在此范围内压力可调

每箱可检测工件数 　　　1个　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

工件进出真空箱方式 　　人工推拉进出真空箱

真空箱开关门方式 　　　垂直提拉式　　　　　　　　　　　　　　　　　

真空箱内腔尺寸及容积　 2500（长）×700（宽）×500（高（单位：mm），约875L

系统技术指标：

氦回收率 　　　　　　　　≥298%　　　　　　　　　　　　　　　　　　

检漏仪开检（真空箱内）　压力≤20Pa

工件抽空压力 　　　　　　≤000Pa（压力向上可调）　　　　　　　　　　

设备外形尺寸　　　　　　 4900（长）×4580（宽）×2660（高）（单位：mm）

华尔升真空箱式氦质谱检漏系统 

充气环网柜氦检系统

产品介绍：

主要应用于电力高压开关柜的泄漏检测，可配置物料运输系统，实现自动进出箱，降性人工劳动强度。本设备适用对SF6开关柜/充气柜/环网柜进行干式检漏。主要具有以下功能：

1.对被检工件和真空箱等压(≤压差0.05MPa)抽真空，并保压检大漏；

2.对被检工件充注氦气；

3.真空箱法氦质谱检微漏、中漏、检大漏，自动判断工件漏率合格与不合格；

4.回收并循环使用氦气；

6.充注SF6气体；

7.对工件干燥微水处理

8.系统PLC控制，触摸屏操作，检测过程全自动。

主要技术参数：

检测漏率 　　2.4×10^-6Pa·m³/s(0.2%/年，按工件内容积≥300L）　　　　　

检测节拍 　　≤45min/箱（含SFE充法的间小于3min，接口有效内通径需满足不小于φ12mm要求，不含人工时间）

三级检漏　　检大漏、检中漏、微小检漏　　　　　　　　　　　　　　　　

检测方式　　检整体漏率

安全保护 　　光棚保护、电气互锁、层级密码控制、声光报警　　　　　　

经　济　性　氦气回收循环利用、维护成本低(根据当户需求可加氦气提纯系统)

自动化水平 　PLC控制、触摸屏操作、自动检测　　　　　　　　　　　　

汽车零件真空箱氦检系统

机械系统：

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元，检漏单元、清氦单元。

主要技术参数：

真空箱数量　　4个(2大2小) 　　　　工件真空　　　　　≦1000Pa（可设）

工件重量　　　≤50（千克）　　　　　真空精检调真空　　≤20 Pa（可设）

工件漏率　　　1×10^-5mhar·L/s 　　　系统自漏率 　　　　1×10^-8mber·L/s

工作节拍　　　≤45s/箱 　　　　　　　氦气本底　　　　　 ≤1.0×10^-6mbar-L/s

箱内工件接口数量 1个 　　　　　　　　标准漏孔温率值 　　1×10^-5mbar-L/s

充氦气压力 　　0-1.GMPa（范国内可调）箱门开关方式 　　　自动上下直拉开门

充氮气压力　　 0-1.0MPa（范围内可调） 真空箱及送料 　　　半自动　　　　

氦气回收率 　　≥95% 　　　　　　　　　设备校准 　　　　可自动操作内置漏孔校准

对工件接口的要求 　快卸工装夹具，气缸快压封堵　　　　　　　　　　　　　

真空箱内腔尺寸： 大:900（左右）x650（前后）x850(上下）mm；小：650（左右）x500（前后）x450(上下)mm

其他功能：

1.设备具有二维码扫描储存功能；

2.设备泵组采用德国普发，压缩机采用美国英格索兰；

3.对氦气浓度、压力进行监控；

4.具有自动清氦功能；

5.设备具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，并停止设备运行的功能；

6.电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行安全可靠和被检工　　　件的安全；

7.有自动、手动两种操作模式；

8.真空箱门设安全光电保护装置，确保操作者安全；

9.系统内各部件布置合理，各易损件易于拆卸、更换、方便维修；各滑轨、护板、护栏等设置美观大方。

汽车零部件氦检系统

系统概述：

1本设备适用对膨胀阀进行干式检漏。主要具有以下功能：

对被检工件充氮气(2-4MPa，此范围内可调)进行耐压和大漏测试；

对被检工件抽真空井充注氦气[2-4MPa，此范向内可调)

2真空箱法氦质谱检测，自动判断工件需率合格与不合格；

3问收并循环使用氦气；

4 PLC控制，触摸屏操作，检测过程全自动。

设备特点：

检漏仪：我公司自主研发的检漏仪，内置漏孔，自动校准，无需人工标定，避免人为操作失误，导致检漏仪损坏或检漏结果不准确，同时检漏仪每次启动都进行漏孔自动校准；有效保证检漏精度；

操作终端；我公司采用工控电脑，运用本公司自行开发的上位机软件，具有远程监控，在线监测功能，一些简单的故障可通过远程操控解决，为用户节省更多的售后时间；

在实现触摸操作的前提下，融入了鼠标和键盘操作，避免了单一操作模式的触摸屏在损坏的情况下不能使设条正常运转的缺陷；内存远远大于平板控制器，有效防止历史数据的丢失。

制冷管氦检系统

系统概述：

主要应用于空调冷凝管、蒸发器、压缩机空调管路等零部件，大部分采用设置多工位、箱外充箱内检和箱内充氦箱内检均可以检漏。

1.本设备适用对上工件进行干式检漏。主要具有以下功能：

2.对被检工件进行保压检大漏；

3.对被检工件抽真空并充注氦气(0-2.0MPa(G)；

4.真空箱法氦质谱检测，自动判断工件漏率合格写不合格；

5.回收并循环使用氦气；

6.PLC控制，触摸屏操作，检测过程全自动。

技术参数：

真空箱数量 　3只　　　　　　　　　　　　每箱检测工件数 　　4个　　　　　　　　

充氦气压力　0-2.0MPa，在此范围内压力可调　真空箱开关门方式　斜提拉式，样式见设备效果图

检测漏率　　R134A，2克/年(约1×10^-6Pa·m³/s)　　　　　　　　　　　　　　　　　　

系统检测节拍：12s/件，检测时序图见图，每箱同时检测4个工件　　　　　　　　　　　

氦回收率　　≥98% 　　　　　　　　　　　检测仪开检（真空箱内）压力 ≤20Pa　　　　

工件抽空压力　≤1000Pa（压力向上可调）　工件进出真空箱方式 人工拿取工件进出真空箱

设备外形尺寸　6450*4000*2905mm（长*宽*高）　　　　　　　　　　　　　　　　　　

真空箱内腔尺寸及容积 1200*80*350mm（长*高*深），约336L