精确捕捉超高精度微观3D形貌的能力

AM-7000系列 白光干涉测厚仪可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，以“面”的形式获取表面3D形貌

通过专用软件对3D形貌进行处理和分析，最高RMS重复性可达0.002nm

超高速极大提高测量效率，可用于自动化产线

AM-7000搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件，最高扫描速度400μm/秒，3200Hz加以业内SST+GAT算法，可瞬间完成最高500万点云采集

大视野高精度大视野、大范围测量

白光干涉原理通过光干涉相位计量

任意放大倍率下均可获得<1nm的检测精度

丰富的测量工具从容应对各种行业应用

涵盖市场上通用的国际标准测量工具，高效率轻松分析3D数据

精确捕捉超高精度

微观3D形貌的能力

AM-7000系列 白光干涉测厚仪可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，以“面”的形式获取表面3D形貌

通过专用软件对3D形貌进行处理和分析，最高RMS重复性可达0.002nm

相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确 认目标面反射光和参考面反射光之间的光干 涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间 的相位为0,距离参考面的高度为h,则

O=4h/λ。借助相位测量法，使用压电陶瓷移 动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时 获得的多个干涉条纹的相位差(O),然后将其 转 换 为 高 度h。