Edwards nXDS 系列干式涡旋泵端部密封套件在需要进行小型改造服务时使用。这通常需要在泵投入使用 2 年后进行，通常需要 12,000 至 16,000 个运行小时。随着顶部密封件磨损，泵将开始失去达到JI限压力的能力。当对良好、干净、防漏的真空室进行抽真空时，新 nXDS 泵的基本压力通常测量为 10 mTorr 或更低。如果您发现基础压力现在仅达到 25 mTorr，则可能需要更换顶部密封件。

适用于 Edwards nXDs 系列干式涡旋真空泵

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