超高真空光学显微镜/光谱仪测试系统

Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / SpectroscopicMicroscope System

将光学显微镜或光谱仪模组对接于超高真空系统，可以作为超高真空互联系统的检测节点之一，用于材料和器件在不同制备环节之间对外延的薄膜或者转移沉积的二维材料等样品的质量进行快速无损检测。

产品特性和核心技术

模块化设计，光学部分相对独立。

·包含光学显微镜、激光离焦量传感器、自动调焦和共聚焦耦合光路等等在内的全部光学部分全部集成于一个光学模组之中，作为整体置于超高真空腔体之外，透过视窗玻璃聚焦于真空腔内的样品表面。

·不污染真空内环境。

·超高真空系统烘烤时可以整体取走，并在烘烤完毕之后方便地定位安装。

·可根据用户需求，灵活配置激光器、单色仪、探测器和物镜等光学组件。

视窗玻璃厚度像差的补偿校正。

·拉曼光谱的高收集效率和分辨率。

性能参数：

注：上述表格中的激光波长、物镜和单色仪等部件可以根据客户需求调整。

测试案例：

超高真空长工作距离（120 mm）显微测试