Workstation系列主动隔振光学平台

产品概述

欧库睿因主动式隔振技术，高精度设备的*美展现！

自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是：

· 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz)

· 声学振动(>20 Hz)

· 机动设备和机器(10-500 Hz)

主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。

精选范例

欧库睿因主动隔振系统的工作原理

应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。

振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。

主要特征

■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。

■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。

■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。

■ 6个自由度主动隔振。

■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。

■ 操作简单-按钮式解决方案。

■ 设计紧凑，安装简便。

■ 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。

■ 接电即可，无需压缩空气。

■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。

■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。

VarioBasic 40搭配成像椭偏仪

i4 Large搭配3D轮廓仪

Workstation系列主动隔振光学平台

将I4隔振平台与桌面集成在一起的主动隔振平台桌。