美国ALICAT 20系列标准型质量流量计，采用技术的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的20系列数字式质量流量计可用于快速地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。

产品特点 ：

● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：可优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需10ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气

技术参数 ：

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类：内置了98种气体，请参考背面气体兼容表

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程：从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（详情请咨询）

量程比：200:1

大显示流量：128%FS

显示屏:同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / ?C / Atm

预热时间：<1s

响应时间：10ms

标定工况：25?C & 100kPa 绝压、20?C & 100kPa 绝压；0?C & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～ +50 ?C

工作湿度：0-100%,无冷凝

标准大工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压，进出口大瞬时压差可为500kPa

中压选项：2MPa

数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：40mA

电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头

材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及

供电电流需咨询我们

选项及配件 ：

●标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
内置30种气体可选
200:1量程可调比
NPT接头
可测量从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保
●可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（多4种）
定制流量范围

应用及案例 ：

● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半导体
● 汽车制造
● 光伏
● 燃料电池
● 计量
● 过程工艺气体测量