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是在一定条件下能发生水蒸气含量恒定且可知的气流或气氛的装置的总称,可在相对湿度为5~95%RH的范围内控制，同时可实现气体的流量、温度的控制。
Ø 环境温度：0~50℃
Ø 相对湿度：10%~90%RH，非冷凝
Ø 进水要求：蒸馏水或去离子水（超纯水）
Ø 进气要求：氮气或者洁净的空气，以及对304不锈钢无腐蚀气体
名称 | 技术参数 |
原理 | 双温双压混合法 |
湿度量程(ppm) | 100~25000 |
饱和压力量程(psig) | 0~150 |
饱和温度范围(℃) | 0~70 |
饱和加热速率 | 2 Min/℃(Avg) |
测试压力量程(psig) | 0~50 |
测试温度范围(℃) | 0~100 |
气体流量范围(SLM) | ≤60 |
气体流量精度 | ≤±1.0% F.S |
气体输入压力(psig) | ≤ 100 |
气体类型 | 零气或者氮气 |
系统显示 | 7”LCD液晶触摸屏 |
信号接口 | RS232/RS485/RJ45 |
气体管路接口 | 316L 1/4”卡套 |
电源 | 220VAC@50Hz 500W |
