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膜厚仪测量系统利用薄膜干涉光学原理

时间:2022-06-26      阅读:1306

  膜厚仪具有无损,可靠,高生产力,高灵活性等优点,可用来定性分析样品的元素组成,也可用于镀层和镀层系统的厚度测量,广泛应用于电路板、半导体、电镀、五金产品、汽车零部件、卫浴洁具、珠宝等工业中的功能性镀层电镀槽液中的成分浓度分析。
  膜厚仪测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值。
  膜厚仪的技术功能:
  微电脑控制系统,大液晶显示、PLC操作面板,方便用户进行试验操作和数据查看。
  严格按照标准设计的接触面积和测量压力,同时支持各种非标定制。
  测试过程中测量头自动升降,有效避免了人为因素造成的系统误差。
  支持自动和手动两种测量模式,方便用户自由选择。
  系统自动进样,进样步距、测量点数和进样速度等相关参数均可由用户自行设定。
  实时显示测量结果的较小值、平均值以及标准偏差等分析数据,方便用户进行判断。
  配置标准量块用于系统标定,保证测试的精度和数据一致性。
  系统支持数据实时显示、自动统计、打印等许多实用功能,方便快捷地获取测试结果。
  标准的USB接口,便于系统与电脑的外部连接和数据。
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