新型的 Pura Plus

新型的 Pura Plus新型的 Pura Plus

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2015-09-09 16:58:51
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上海安锐自动化仪表有限公司

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产品简介

新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器,多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应Z末端,用来监测超纯惰性气体的应用。

详细介绍

上海安锐“专业、诚信、

新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器,多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应zui末端,用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂,涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后,会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入,影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示,在 20 ppb 湿气级别下
1 ppb 的异动的响应时间小于分钟。



亮点

· 对 ppb 级别湿度异动的快速响应

· 低湿 ppb 级别的灵敏度 (<1 ppb)

· 多点测量安装的全新概念

· 维护要求低

· 信号灯式的状态指示

· 可设置警告和报警点

· Modbus 网络兼容

· 远程控制界面的多通道软件

· (UHP) 超纯气体的管线检测

技术指标

响应速度

<1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间

湿度量程

1 ppb to 20,000 ppm

压力范围

0 to 10 bar

耐压等级

300 bar

泄漏测试

0-9 mbar l/s

工作流量范围

1 ~ 10 l/min

工作温度

5 ~ 40°C

存储温度

30 ~ 70°C

电源

20 ~ 28 V DC

功耗

5 W zui大

外部保险丝等级

500 mA 快熔型

数据输出

Modbus ASCII 两线 RS485

警告和报警输出

zui大电压

40 V DC

zui大电流

100 mA

气体接触的材质

外壳材质

不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra

传感器结构

氧化铝电解质上层镀金保护下层铝层

内部容积

4.4cm³

重量

450g

气路接口

1/4" m VCR

电气接口

9 - 针 D - 型 接口

电磁兼容性

EN50081-2 和 EN50082-2

高效、成为您zui信任的事业伙伴”是我们的原

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